特機技術製品の納入実績
成膜装置
1996.8 | トンネル接合用イオンビームスパッタ | 東北大学 | |
1999.2 | 複合スパッタ装置 | 民間企業 | |
1999.12 | 全自動リフトオフ蒸着装置 | 民間企業 | |
2000.6 | 2元蒸着装置 | 通信放送機構 | |
2000.12 | DC/RF対向スパッタ装置 | 山形大学 | |
2001.11 | 6インチDCスパッタ装置 | 民間企業 | |
2002.1 | 2元スパッター装置 | JST/弘前大学 | |
2002.12 | 4インチスパッター装置SPT-4STD | 福島県ハイテクプラザ | |
2003.3 | 2元スパッター装置 | 仙台電波高専 | |
2003.3 | 3元蒸着装置 | 仙台電波高専 | |
2004.11 | 6インチ3元スパッタ装置 | 民間企業 | |
2005.1 | マルチチャンバースパッタ装置 | 民間企業 | |
2005.3 | 3元スパッタ装置 | JST/岩手大学 | |
2005.8 | 3元スパッタ装置 | 民間企業 | |
2006.3 | マイクロ波プラズマCVD装置 | 東北大学/民間企業/JST | |
2007.2 | ロボット搬送 マルチチャンバースパッタ装置 |
民間企業 | |
2007.6 | 大型3元スパッタ装置 | 民間企業 | |
2007.10 | 有機EL用蒸着装置 | 民間企業 | |
2008.3 | 熱CVD装置 | 東北大学 | |
2008.3 | 2元スパッタ装置 | 東北大学 | |
2008.7 | 常圧CVD装置 | 民間企業 | |
2009.1 | 3元RFスパッタ装置 | 仙台電波高専 | |
2009.9 | レーザーCVD装置 | JFCC | |
2009.9 | プラズマエッチャー | 岩手大学 | |
2009.9 | スパッタ装置 | 東北大学 | |
2011.1 | DCリアクティブスパッタ装置 | 民間企業 | |
2011.3 | 電子ビーム蒸着装置 | 仙台高専 | |
2012.3 | GB付蒸着装置 | 東北大学 | |
2012.3 | 3元RFスパッタ装置 | 鶴岡工専 | |
2012.10 | 静電噴霧成膜装置 | JFCC | |
2013.3 | RFスパッタ装置 | 鶴岡高専 | |
2014.2 | 3元特殊スパッタ装置 | 民間企業 | |
2014.3 | 2元スパッタ装置 | 東京高専 | |
2015.1 | 5元スパッタ装置 | 電気磁気材料研究所 |

バルク材料作成装置
1998.11 | 実験用アーク炉 | 東北工業技術研究所 | |
2000.3 | 急冷凝固装置 | 弘前大学 | |
2001.3 | アーク溶解型急冷試料作成装置 | 弘前大学 | |
2001.12 | 高温・高圧単結晶育成炉 | 民間企業 | |
2002.3 | 高温・高圧単結晶育成炉 | 東北大学 | |
2002.4 | 水素雰囲気CZ炉 | 東北大学 | |
2003.8 | 高温・高圧単結晶育成炉 | 民間企業 | |
2003.9 | 急冷凝固装置 | 釜山大学 | |
2003.9 | ホットプレス | 山形大学 | |
2005.3 | GaN種結晶育成装置 | 東北大学 | |
2005.9 | GaN引上装置 | 東北大学 | |
2007.8 | ゾーンメルト・クエンチ装置 | 東北大学 | |
2008.3 | 高周波溶解炉 | 弘前大 | |
2008.8 | ハロゲン化物結晶育成検証機 | 東北大学 | |
2008.12 | 銅ボール作製実験装置 | 民間企業 | |
2009.3 | 単結晶育成炉 | 民間企業 | |
2010.2 | 横一方向凝固装置 | 東北大学 | |
2010.3 | シリカ還元装置 | 弘前大 | |
2010.9 | 急冷薄膜作成装置 | 民間企業 | |
2010.9 | パルスインジェクション粒子作製装置 | 民間企業 | |
2010.11 | アーク溶解炉 | 東北大学 | |
2011.4 | 単結晶育成炉 | 民間企業 | |
2011.8 | FZ単結晶育成装置 | 仙台高専 | |
2012.3 | 2ゾーンシリカ還元装置 | 弘前大学 | |
2013.1 | 単結晶育成炉 | 民間企業 | |
2013.2 | 高真空マイクロPD結晶育成装置 | 東北大学 | |
2013.3 | 形状制御結晶育成装置 | 東北大学 | |
2014.3 | ハロゲン化物結晶育成装置 | 民間企業 | |
2015.1 | ハロゲン化物結晶育成装置 | 民間企業 | |
2015.1 | ハロゲン化物結晶育成装置 | 東北大学 |

電気炉
納入時期 | 納入装置名 | 納入先 | |
1997.3 | 真空アニール炉 | 民間企業 | |
1997.9 | 高周波誘導加熱真空炉 | 民間企業 | |
1998.9 | 真空熱処理装置 | 民間企業 | |
1998.11 | 高温物性試験用電気炉 | 東北大学 | |
1998.11 | 急速加熱電気炉 | 東北大学 | |
1999.3 | 超高温試験装置 | 航空宇宙技術研究所 | |
2001.11 | 水素熱処理装置 | 民間企業 | |
2001.12 | 真空熱処理炉 | 東北大学 | |
2002.2 | 横型ガスフロー電気炉 | 東北大学 | |
2003.9 | 環状電気炉 | 岩手大学 | |
2004.4 | 水素雰囲気炉 | 東北大学 | |
2004.8 | ウエハ加熱装置 | 民間企業 | |
2004.12 | 真空熱処理装置 | 民間企業 | |
2005.1 | クエンチ熱処理装置 | 東北大学 | |
2005.12 | 急冷熱処理装置 | 民間企業 | |
2006.2 | 急冷熱処理装置 | 民間企業 | |
2008.2 | 縦型管状炉 | 東北大学 | |
2008.3 | フッ化物熱処理装置 | 民間企業 | |
2008.9 | 水素焼鈍炉 | 東北大学 | |
2009.2 | 連続焼鈍炉 | 民間企業 | |
2009.3 | 箱型電気炉 | 東北大学 | |
2009.5 | 高温ラマン分光用電気炉 | 東北大学 | |
2009.9 | 無加圧焼結炉 | 東北大学 | |
2010.1 | クエンチ熱処理装置 | 東京工業大学 | |
2010.2 | 高温圧縮試験装置 | 東北大学 | |
2010.2 | 超高温雰囲気制御熱処理炉 | 東北大学 | |
2011.12 | 小型特殊ガラス溶解炉 | 民間企業 | |
2012.2 | 高真空熱処理炉 | 電磁材料研究所 | |
2012.2 | 水素熱処理装置 | 東北大学 | |
2012.3 | 超高温熱処理装置 | 東北大学 | |
2012.3 | クエンチ熱処理炉 | 仙台高専 | |
2012.3 | ウエハ高清浄熱処理炉 | 東北大学 | |
2013.12 | クエンチ熱処理装置 | 東北大学 | |
2014.2 | 大型シリカ還元装置 | 東京大学 | |
2014.3 | 特殊浸炭装置 | 民間企業 | |
2014.3 | 管状炉 | 電気磁気材料研究所 | |
2014.7 | SMA熱処理炉 | 民間企業 | |
2015.2 | 雰囲気熱処理炉 | 民間企業 | |
2015.2 | クエンチ熱処理装置 | 東京工業大学 |

摩擦試験機
納入時期 | 納入装置名 | 納入先 | |
1998.3 | 超高真空摩擦試験機 | 岩手大学 | |
1998.3 | 潤滑油せん断試験機 | 岩手大学 | |
1998.12 | トライボロジー特性評価装置 | 民間企業 | |
2000.1 | 高荷重摩擦試験機 | 岩手大学 | |
2000.1 | 高荷重摩擦試験機 | 民間企業 | |
2001.3 | 潤滑試験装置 | 横浜国立大学 | |
2001.9 | 紫外線分光摩擦試験機 | 民間企業 | |
2001.12 | 摩擦試験機 | 民間企業 | |
2002.3 | DME摩擦試験機 | 産総研 | |
2002.9 | 液体ヘリウム中摩擦試験機 | 岩手大学 | |
2004.1 | フレッティング試験機 | 民間企業 | |
2006.12 | 小型摩擦試験機 | 岩手大学 | |
2008.2 | 腐食磨耗試験機 | 岩手大学 | |
2008.3 | 摺動試験機 | 民間企業 | |
2009.5 | 真空中摩擦試験設備 | 民間企業 | |
2012.9 | 摩擦試験機 | 民間企業 | |
2013.1 | 潤滑試験機 | 岩手大学 | |
2013.12 | 回転摺動摩擦試験機 | 東北大学 | |
2013.9 | 雰囲気制御摩擦試験機 | 民間企業 |

真空装置・ガス分析装置
納入時期 | 納入装置名 | 納入先 | |
1998.11 | 超高真空排気装置 | 民間企業 | |
1998.1 | 微量ガス分析装置 | 民間企業 | |
1999.9 | ネオン管内圧測定装置 | 民間企業 | |
2000.7 | 真空封止装置 | 民間企業 | |
2000.12 | 真空封止装置 | 民間企業 | |
2000.12 | ガス圧測定装置 | 民間企業 | |
2002.4 | 超高真空試料搬送システム | 東北大学 | |
2002.1 | 圧力制御システム | NASDA/東北大学 | |
2004.9 | 真空封止装置 | 民間企業 | |
2004.7 | 簡易型ガス分析装置 | 民間企業 | |
2004.12 | ガス置換陽極接合装置 | 民間企業 | |
2005.1 | 陽極接合装置 | 民間企業 | |
2005.5 | 圧力制御システム | 東北大学 | |
2005.11 | 真空封止装置 | 民間企業 | |
2013.2 | RGA試験機 | 民間企業 | |
2014.2 | ガス分析装置 | 東京大学 |

低温装置・高圧装置
納入時期 | 納入装置名 | 納入先 | |
1997.3 | IR測定用高圧セル | 岩手大学 | |
2000.3 | 超臨界密度測定装置 | 東北工業技術研究所 | |
2000.12 | 低温硬さ測定装置 | 岩手大学 | |
2001.2 | 容積可変高圧容器 | 東北工業技術研究所 | |
2003.9 | コールドヘッドチャンバー | 山形大学 | |
2008.3 | 油圧自動昇圧装置 | 民間企業 |

計測装置・試験装置
納入時期 | 納入装置名 | 納入先 | |
1997.11 | 印刷精度測定装置 | 民間企業 | |
1998.1 | モーター温度上昇試験装置 | 民間企業 | |
1998.7 | FDD耐久試験機 | 民間企業 | |
1998.8 | 印刷精度測定装置 | 民間企業 | |
1998.11 | 印刷精度測定装置 | 民間企業 | |
1998.11 | スラリーせん断試験装置 | 東北大学 | |
1999.3 | 模擬ガス流動試験装置 | 民間企業 | |
1999.5 | 抵抗自動測定装置 | 民間企業 | |
1999.9 | シンチレータ照射システム | 民間企業 | |
2000.3 | 高速燃焼流測定装置 | 東北大学 | |
2000.3 | インジェクションプレート測定装置 | 民間企業 | |
2001.7 | DWDM光学特性評価装置 | 民間企業 | |
2001.8 | 端子圧着性能評価装置 | 民間企業 | |
2001.12 | 微小熱電変換素子性能評価装置 | 東北大学 | |
2001.12 | 微光検出システム | 東北工業大学 | |
2002.3 | 抵抗自動測定システム | 民間企業 | |
2002.5 | 透過率分布測定装置 | 民間企業 | |
2002.8 | スリット加工機 | 東北大学 | |
2003.1 | 振動試験機 | 石巻専修大学 | |
2003.2 | 溶融岩石観察装置 | 東北大学 | |
2004.5 | 光学特性評価装置 | 民間企業 | |
2005.2 | 高電界パルス印加装置 | 民間企業 | |
2005.2 | ナノプリント装置 | 東北大学 | |
2005.3 | ガラスビン平坦度測定器 | 民間企業 | |
2008.6 | 真空印刷機 | 民間企業 | |
2009.6 | ガラスビン偏芯測定 | 民間企業 | |
2009.9 | 熱衝撃試験装置 | JFCC | |
2010.2 | 高温接触角測定装置 | 東北大学 | |
2010.3 | プローブ顕微鏡磁場印加 | 弘前大学 | |
2010.8 | 岩石溶融X線観察装置 | 東北大学 | |
2010.2 | 高温接触角測定装置 | 東北大学 | |
2010.11 | バルブ耐久試験機 | 民間企業 | |
2012.7 | バーナー試験機 | 東北大学 | |
2013.7 | 凝固偏析試験装置 | 民間企業 | |
2014.9 | SP強度試験機 | 民間企業 | |
2015.1 | 粉末抵抗測定装置 | 東北大学 |

自動機・プラント
納入時期 | 納入装置名 | 納入先 | |
1997.3 | 微小粒子自動配列装置 | 東北大学 | |
1997.8 | 採血管搬送システム | 東京医科歯科大/病院 | |
2000.3 | 微粒子マニピュレーション装置 | 東北大学 | |
2000.9 | 単層ナノチューブ精製装置 | 東北大学 | |
2000.9 | ディスペンサ多相配列装置 | 東北大学 | |
2003.1 | 木質バイオマスガス化システム | 八戸工業大学 | |
2003.3 | 三次元粒子配列装置 | 民間企業 | |
2003.8 | λ/2貼り付け装置 | 民間企業 | |
2003.9 | フッ酸洗浄用グローブボックス | 東北大学 | |
2004.11 | λ/2貼り付け装置 | 民間企業 | |
2005.8 | PEG含浸装置 | 多賀城市 | |
2012.7 | 三次元粒子配列装置 | 東北大学 |
