真空ポンプ

真空ポンプ

	製品名	ターボ分子ポンプ
	メーカー	大阪真空機器製作所・ファイファー

	製品名	クライオポンプ
	メーカー	キヤノンアネルバ

	製品名	ドライポンプ・ロータリーポンプ
	メーカー	エドワーズ・樫山工業