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四重極型ガス分析計
【メーカー】キヤノンアネルバ
  被測定装置への取り付けを容易にしたトランスデューサタイプの 質量分析計です。 真空装置の残留ガス分析からプロセスガスモ  ニタ、更に昇温脱離ガス分析等、幅広い用途にご利用いただけま す。 制御ソフトは新しいQUADIVISION U を搭載し、より容易な測  定操作とデータ処理が可能になりました。
【特長】
  • F:検出器にファラデーカップ(FC)を使用した標準モデル
  • M:検出器に2次電子増倍管(SEM)を搭載した高感度モデル
  • 低ガス放出分析管、デガス機能を搭載
  • 質量数:1〜100 1〜200 1〜400

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